氮气在真空热处理中的应用原理主要包含两个方面，都是利用氮气的化学性质稳定、不活泼性质，一是在加热时，特别是在1000℃以上时，为了防止Cr等金属元素在高的真空度下的挥发，在抽真空到1~5Pa后回充氮气，以调整炉内的真空度，防止金属元素的挥发；二是在淬火时，为了提高冷却能力（一般来说，真空度越高，无论是空冷还是油冷，则冷却能力越差），根据不同的淬火冷却方法、不同的炉型，而采用回充氮气，从而选择在不同的真空度下淬火，以得到不同的淬火烈度。补充：真空炉用氮气浓度应≥99.999%。
对真空淬火炉而言有两种应用：一种是炉内回冲，主要起防氧化作用；另一种是作为冷却气体实施对工作淬火的冷却，主要起冷却和防氧化；
对真空渗碳炉而言：主要是作为载气；
从应用中不难分析其应用原理
对真空淬火炉而言有两种应用：一种是炉内回冲，主要起防氧化作用；另一种是作为冷却气体实施对工作淬火的冷却，主要起冷却和防氧化；
对真空渗碳炉而言：主要是作为载气；
从应用中不难分析其应用原理
