臭氧因系轻度结合所以为不安定的状态, 在常温下会逐渐分解而成为氧分子。 臭氧也会因光、热、水份、金属、金属氧化物以及其他的触媒而加速其分解。臭氧在大气中的半衰期zui多为50分钟。将浓度高的臭氧打入水中时, 其半衰期则仅需20分钟。水中杂质或PH质高时,在水中所残留的臭氧其分解速度就会加速。空气或水中的温度或湿度高时, 臭氧的分解或还原作用, 亦会加速。臭氧存在於水中时,可与多数的有机物急速而强力地发生化学反应,因此,能除去水中化合物,或讨人厌恶的味道、臭气、颜色等,并发挥强力的杀菌效果。
苏州开江气体致力于配套臭氧发生器,利用单台PSA工艺成功为东方希望集团母液水深度处理项目配套25kg臭氧发生器。